학회소식

THE KOREAN MICROELECTRONICS
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[전자신문] 반도체 수율 핵심 '플라즈마' 실시간 측정...표준연, 세계 최최 기술 개발

  • 작성일자

    2021-06-02 00:00
  • 조회수

    296

반도체 수율 핵심 '플라즈마' 실시간 측정...표준연, 세계 최최 기술 개발

[원문보기 https://www.etnews.com/20210531000090